多晶硅生产废水处理工程设计
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发布时间：2013-08-30
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| 【中文关键词】 | 反硝化脱氮 生物接触氧化 高效流砂过滤 |
| 【摘要】 | 为使多晶硅生产废水达到回用要求，根据其水质特征，设计采用预处理一反硝化脱氮一生物接触氧化一高效流砂过滤的工艺流程。工程运行结果表明，经处理后出水水质达到《城市污水再生利用城市杂用水水质》》的要求。 |
| 【部分正文预览】 | 陕西省某企业采用改良型西门子工艺生产高纯度多晶硅，工艺可分为三氯氢硅合成、四氯化硅氢化等5个主体单元和氯化氢制备、硅芯制备等4个辅助单元。改良型西门子工艺为先进的清洁生产工艺．正常生产时．主要在硅芯侵蚀制备和产品整理工段产生侵蚀废水和废气，污染物为F一和NO，一；非正常生产时．主要产生废气．污染物包括HC1、SiHC1，、SiCL等。由于项目所在地水资源短缺，业主提出处理后废水回用于绿化的要求。 |
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